离子束刻蚀加速器(ionbeametching,IBE)是一种用于微纳米制造的技术,通过将高能离子束射向硅片表面,实现对硅片的选择性刻蚀。传统的IBE技术中,离子束的电压为正值,导致刻蚀过程中产生的副...